一种蒸镀设备及蒸镀生产线[发明专利]

来源：华佗健康网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种蒸镀设备及蒸镀生产线专利类型：发明专利发明人：金熏,金甲锡,李浩永申请号：CN201510218060.5申请日：20150430公开号：CN104846337A公开日：20150819

摘要：本发明涉及显示装置的制造技术领域，公开了一种蒸镀设备及蒸镀生产线，以减小蒸镀生产线的占地面积，节约设备成本。蒸镀设备包括机械手以及位于机械手的主轴外侧且呈方形环列分布的两个蒸镀腔室、基板传入腔室、基板传出腔室，以及掩模板存放腔室，其中：两个蒸镀腔室分别设置于方形环列的第一边侧和第二边侧，每个蒸镀腔室内配置有两个基板蒸镀工位、线蒸镀源，以及掩模板对位设备；基板传入腔室设置于方形环列的第三边侧，内部配置有基板传入工位；基板传出腔室设置于方形环列的第四边侧，内部配置有基板传出工位；掩模板存放腔室与基板传入腔室或基板传出腔室并排设置。

申请人：北京欣奕华科技有限公司

地址：100176 北京市大兴区经济技术开发区科创九街32号1号楼二层201室

国籍：CN

代理机构：北京同达信恒知识产权代理有限公司

代理人：杜秀科

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文