板式PECVD加热载板[发明专利]
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专利名称：板式PECVD加热载板专利类型：发明专利
发明人：姚骞,林大成,王虎,胡嫚申请号：CN201210145487.3申请日：20120511公开号：CN102691053A公开日：20120926
摘要：本发明公开了一种板式PECVD加热载板，包括本体，在所述本体上设有第一凹槽，在所述第一凹槽中设有孔。发明与现有技术相比，不仅改善了加热后导热性不足的问题，同时有效地提高了电池转换效率，还能适合多种规格的硅片。
申请人：奥特斯维能源(太仓)有限公司
地址：215434 江苏省苏州市太仓市太仓港港口开发区平江路88号
国籍：CN
代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人：夏雪
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