一种防破损的石英晶片掩膜工装[实用新型专利]
来源：华佗健康网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种防破损的石英晶片掩膜工装专利类型：实用新型专利发明人：张斌,郑宝春,郑宝生申请号：CN202020879732.3申请日：20200523公开号：CN211743122U公开日：20201023
摘要：本实用新型公开了一种防破损的石英晶片掩膜工装，涉及石英晶片加工技术领域。包括底板、压片和固定螺栓，所述底板的上方设置有压片，所述底板和压片的内部设置有固定螺栓，所述底板的四周固定连接有连接块，所述连接块的内部开设有螺纹孔，所述底板的内部开设有圆孔，所述底板的上表面中间固定安装有定位块；通过设置压片覆盖在底板上方，通过压片下表面的卡槽对石英晶片进行卡接，石英晶片四周与卡槽内壁直接接触，增大了石英晶片与固定结构的接触面积，区别于现有的掩膜工装，使适应晶片在掩膜加工过程中与工装的接触面扩大，从而使石英晶片固定时的受力更加均匀，防止因受力不均导致造成的破损。
申请人：浙江蓝晶芯微电子有限公司
地址：321100 浙江省金华市兰溪经济开发区江南高新园区致远路85号
国籍：CN
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容