基于折射率调控薄膜的偏振无关反射式介质光栅[发明专利]
来源：华佗健康网
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专利名称：基于折射率调控薄膜的偏振无关反射式介质光栅专利类型：发明专利
发明人：张明骁,马平,蒲云体,乔曌,卢忠文,吕亮,邱服民申请号：CN201810606015.0申请日：20180613公开号：CN108761610A公开日：20181106
摘要：本发明涉及一种基于折射率调控薄膜的偏振无关反射介质光栅，属于光学领域，所述光栅包括衬底1和光栅层4，并且衬底1上依次镀制有反射膜2、氧化物介质膜连接层3，并在光栅层刻蚀光栅槽结构；所述反射膜2为折射率调控多层介质薄膜，该折射率调控多层介质薄膜2包括高折射率材料薄膜2‑1和低折射率材料薄膜2‑2。本发明提供的基于折射率调控薄膜的偏振无关反射介质光栅的中心波长为1064纳米，在入射角度为‑1级利特罗角，在1050~1080纳米范围可以同时使TE、TM偏振方向上的‑1级衍射效率高于99%，波段内最高衍射效率高于99.5%，可以实现偏振无关入射光的高效率衍射。
申请人：成都精密光学工程研究中心
地址：610041 四川省成都市高新区科园一路3号
国籍：CN
代理机构：成都九鼎天元知识产权代理有限公司
代理人：韩雪
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