图像传感器的制造方法[发明专利]

来源：华佗健康网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：图像传感器的制造方法专利类型：发明专利发明人：郑星熙

申请号：CN200710193992.4申请日：20071129公开号：CN101207082A公开日：20080625

摘要：本发明提供了一种制造图像传感器的方法。在包含金属线的半导体衬底上形成层间绝缘层；在所述层间绝缘层上形成焊盘；在包含所述层间绝缘层和所述焊盘的半导体衬底上形成绝缘层；在所述绝缘层上形成钝化层；在所述钝化层上形成滤色片层；在所述滤色片层上形成平面化层；在所述平面化层上形成微透镜；在所述微透镜上形成光致抗蚀剂层图案，暴露在焊盘上方的部分所述钝化层；使用所述光致抗蚀剂层图案作为蚀刻掩模暴露焊盘；以及除去所述光致抗蚀剂层图案。本发明能够抑制微透镜不符合要求地分离。

申请人：东部高科股份有限公司

地址：韩国首尔

国籍：KR

代理机构：隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：郑小军

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文