一种晶体硅太阳能电池的硅基薄膜镀膜方法

来源：华佗健康网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201910705525.8 （22）申请日 2019.08.01

（71）申请人江苏微导纳米装备科技有限公司

地址 214028 江苏省无锡市新吴区新硕路9-6-2号

（10）申请公布号 CN110416071A

（43）申请公布日 2019.11.05

（72）发明人张鹤;王亨;许所昌;李翔;黎微明（74）专利代理机构南京知识律师事务所

代理人万婧

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种晶体硅太阳能电池的硅基薄膜镀膜方法

（57）摘要

本发明公开了一种晶体硅太阳能电池的硅

基薄膜镀膜方法，属于晶体硅太阳能电池领域，具体包括：将基底置于PEALD反应腔内，压力调整为30‑5000Pa，温度稳定在50‑500℃；向反应腔中通入硅源镀膜0.5‑10s；通入惰性气体吹扫1‑20s；通入等离子气体镀膜1‑20s，其中等离子体的功率50‑2000W；然后再用的惰性气体或N

法律状态

法律状态公告日

2019-11-05 2019-11-05 2019-11-05 2019-11-29 2019-11-29 2020-04-10

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法律状态信息

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说明书

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