平面波导型可调光衰减器[发明专利]
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专利名称：平面波导型可调光衰减器专利类型：发明专利发明人：陈谷红
申请号：CN201310216150.1申请日：20130603公开号：CN104216145A公开日：20141217
摘要：本发明涉及集成光学技术领域。它提出了一种多信道平面波导型可调光衰减器，是基于平面光波导技术，采用硅基沉积二氧化硅和金属薄膜溅射法的多层平面晶圆加工制作工艺和技术。该衰减器的光路由马赫-曾德尔干涉仪的上臂调节支路和下臂直通支路构成；加热电路由高电导率的导电层和高电阻率的加热层构成；光电控制回路由光耦合器、光电二极管、运算放大器、微处理器构成，能对可调电源作出线性调节和控制，从而在衰减器的输出端得到不同大小的光功率；并采用深度刻蚀的隔热槽结构，可减小光衰减器的串扰。该光器件不但集成度高，性能稳定可靠；而且制作工艺成熟、稳定、适合大批量生产，可广泛应用于光通信网络系统和光学仪器设备。
申请人：宜兴新崛起光集成芯片科技有限公司
地址：214213 江苏省宜兴市经济开发区文庄路6号创新研发大厦1023室
国籍：CN
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