一种便于固定的化学机械抛光设备[发明专利]

来源：华佗健康网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种便于固定的化学机械抛光设备专利类型：发明专利发明人：汪娟

申请号：CN201911045109.6申请日：20191030公开号：CN110802505A公开日：20200218

摘要：本发明公开了一种便于固定的化学机械抛光设备，一种便于固定的化学机械抛光设备，包括设备主体、第一转轴、第一齿轮、螺纹套筒、电动伸缩板、第二转轴、第三齿轮、螺旋连杆、清洗喷头、抛光台、待抛光半导体、调节阀和出液管，所述设备主体的侧端设置有驱动电机。该便于固定的化学机械抛光设备中设置有限位孔和电动伸缩板，根据不同的待抛光半导体形状，选取与半导体形状相同的限位孔，将待抛光半导体防置在限位孔内，能够对待抛光半导体起到水平方向的固定作用，电动伸缩板能够完成竖直方向上的伸缩移动，能够对待抛光半导体施加向下的挤压力，使待抛光半导体贴合在抛光台上，进行抛光，能够对待抛光半导体起到竖直方向的固定作用。

申请人：汪娟

地址：231261 安徽省合肥市肥西县官亭镇王祠村苏小店村民组

国籍：CN

代理机构：合肥中博知信知识产权代理有限公司

代理人：李金标

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文