一种超高反射率光学扫描振镜及其制备方法[发明专利]

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专利名称：一种超高反射率光学扫描振镜及其制备方法专利类型：发明专利发明人：吴小春,叶沈航申请号：CN201610334794.4申请日：20160519公开号：CN105824119A公开日：20160803

摘要：本发明涉及一种超高反射率光学扫描振镜，所述的光学扫描振镜由玻璃基材层及沉积镀制在玻璃基材层上的高反膜组成；所述的高反膜由9层膜层组成，9层膜层依照距离玻璃基材层从近至远的顺序依次为：第一AlO膜层、Ag膜层、第二AlO膜层、第一SiO膜层、第一高折射率材料膜层、第二SiO膜层、第二高折射率材料膜层、第三SiO膜层、第三高折射率材料膜层。本发明的有益效果是：在减少镀膜层数的同时大大增加反射带带宽和谐振角度，反射率大于99％的反射带宽达300nm，且有效谐振角度可达0?80°。

申请人：三明福特科光电有限公司

地址：3699 福建省三明市宁化华侨经济开发区城南工业园二期15号地

国籍：CN

代理机构：福州市众韬专利代理事务所(普通合伙)

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