形成超导薄膜的方法及设备[发明专利]
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专利名称:形成超导薄膜的方法及设备专利类型:发明专利
发明人:福井庆太郎,中村修,岡山泰,角田淳申请号:CN88103399申请日:19880603公开号:CN88103399A公开日:19881221
摘要:利用一种超声波喷雾器,把含有一种或多种作为溶质的能形成超导体的金属化合物的匀质溶液或多种溶液雾化并喷洒到一个热载体上,以形成含有复合金属氧化物的超导薄膜,用于形成超导薄膜的超声波喷雾器包括一个超声波发生振荡器、原料输送器、雾化溶液防散逸器、载体底座和加热器,超声波发生振荡器通过一根轴连到一个溶液雾化喷嘴。
申请人:东亚燃料工业株式会社
地址:日本东京都
国籍:JP
代理机构:上海专利事务所
代理人:颜承根
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