专利名称:集成电容专利类型:发明专利发明人:陈晞白,李东兴申请号:CN201410767297.4申请日:20141212公开号:CN105280607A公开日:20160127
摘要:本发明提供一种集成电容,包含:半导体衬底,包含沟槽隔离区域;第一层间电介质层,覆盖沟槽隔离区域;第一电极板,包含第一层间电介质层中的至少第一接触层,其中接触层直接位于沟槽隔离区域上;第二电极板,位于第一层间电介质层;以及电容电介质结构,位于第一电极板与第二电极板之间。通过上述方案,可以在保持电容水平的基础上有效地减少占用芯片空间,且可以不需要额外的光掩膜。
申请人:联发科技股份有限公司
地址:中国新竹科学工业园区新竹市笃行一路一号
国籍:CN
代理机构:北京万慧达知识产权代理有限公司
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