一种晶圆切割的定位装置[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种晶圆切割的定位装置专利类型：实用新型专利发明人：黄宗伟,刘欣,戚传斌申请号：CN201921104255.7申请日：20190715公开号：CN2108803U公开日：20200630

摘要：本实用新型公开了一种晶圆切割的定位装置，包括固定安装在切割平台上的容纳筒，容纳筒内滑动设置有升降盘，升降盘下表面中部固定焊接有套筒，切割平台内部底表面固定安装有丝杆电机，套筒通过螺纹通道与丝杆电机的丝杆轴配合连接，升降盘内部沿其轴线方向开设有滑腔，升降盘上表面两侧均设置有半圆卡板。本实用新型通过将晶圆柱放置在升降盘上表面，通过拧紧螺栓，两个半圆卡板能够稳定将晶圆柱夹持，且能够对不同尺寸的晶圆柱进行夹持，通过启动丝杆电机，控制丝杆电机的转动，能够控制升降盘的上下移动，从而控制晶圆柱露出容纳筒的高度，便于外部切割设备根据切割进度对晶圆柱切割，提高了切割的效率。

申请人：东莞市顺烁通讯科技有限公司

地址：523469 广东省东莞市横沥镇隔坑村西环路忠亚科技园A07栋一楼

国籍：CN

代理机构：长沙睿翔专利代理事务所(普通合伙)

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