专利名称:抑制高阶反射的多层反射器专利类型:发明专利发明人:迈克尔·F·韦伯申请号:CN200480039585.2申请日:20041209公开号:CN1902514A公开日:20070124
摘要:本发明公开一种多层干涉反射膜。该多层干涉反射膜具有设置为形成整个反射膜中的光学重复单元的单独光学层。多个光学重复单元中每个具有六个单独层,其中至少三个单独层在设计波长λ处具有不同的折射率。所述单独层具有名义上相同的折射率和物理厚度并且随意标记为“A”、“B”、“C”和“D”,所述单独层按照CACDBD的循环排列顺序布置在六层式光学重复单元中,其中层A和层B每个都厚于层C和层D。可以选择所述单独层的厚度和折射率,以便在反射设计波长的光的同时抑制二阶、三阶和四阶反射。
申请人:3M创新有限公司
地址:美国明尼苏达州
国籍:US
代理机构:北京天昊联合知识产权代理有限公司
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