空气洁净度标准

表1：洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 空气洁净度等级(N) 0.1µm 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 100 1000 10000 100000 1000000 大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m³） 0.2µm 2 24 237 2370 23700 237000 0.3µm 10 102 1020 10200 102000 0.5µm 4 35 352 3520 35200 352000 3520000 35200000 1µm 8 83 832 8320 83200 832000 8320000 5µm 29 293 2930 29300 293000 注：①每个采样点应至少采样3次。

②本标准不适合用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。 ③根据工艺要求确定1-2种粒径。

④1 m³=35.314ft³(立方英尺)，1 ft³=0.02832 m³

⑤所谓100、10000、100000级，是在1立方英尺空气中微粒子个数，因此，100级换算成m³，则有：

100×35.314=3531.4个/ m³ 10000级则为353140个/ m³ 100000级则为3531400个/ m³ 国际标准ISO14644-1

表1：洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 ISO等级序数（N） 大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m³） 0.1µm 0.2µm 2 24 237 2370 23700 237000 0.3µm 10 102 1020 10200 102000 0.5µm 4 35 352 3520 35200 352000 3520000 35200000 1µm 8 83 832 8320 83200 832000 8320000 5µm 29 293 2930 29300 293000 ISO Class 1 10 ISO Class 2 100 ISO Class 3 1000 ISO Class 4 10000 ISO Class 5 100000 ISO Class 6 1000000 ISO Class 7 ISO Class 8 ISO Class 9 注：由于涉及测量过程中的不确定性，故要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。