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一种分散式扩散炉进气装置及含有此进气装置的扩散炉[实用新型专利]

来源：华佗健康网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种分散式扩散炉进气装置及含有此进气装置的扩

散炉

专利类型：实用新型专利发明人：沈少杰

申请号：CN201420381048.7申请日：20140710公开号：CN204023004U公开日：20141217

摘要：本实用新型公开了一种分散式扩散炉进气装置及含有此进气装置的扩散炉。该分散式扩散炉进气装置包括进气管和石英直管，进气管的出气端与石英直管的一端相连接，石英直管的管壁开设有第一小孔，第一小孔为内窄外宽的圆锥形。本实用新型的分散式扩散炉进气装置通过石英直管的第一小孔使工艺化学气体均匀的喷淋在硅片上，并提高了气流的均匀性，保证了硅片方块电阻的均匀性，减小了废片的产生，提高了产品的合格率。

申请人：苏州矽美仕绿色新能源有限公司

地址：2100 江苏省苏州市太仓市苏州中路567号

国籍：CN

代理机构：北京品源专利代理有限公司

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