硅片在线自动检测装置[发明专利]
来源：华佗健康网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：硅片在线自动检测装置专利类型：发明专利发明人：陈宏
申请号：CN201210399014.6申请日：20121019公开号：CN102873035A公开日：20130116
摘要：本发明公开一种硅片在线自动检测装置，用于检测随传输线同步依次传送的若干硅片是否为碎片并将碎片从所述的传输线上分拣出来，包括设置在所述的传输线的上方的检测单元、与所述的检测单元信号连接的控制单元及与所述的控制单元信号连接的分拣单元，检测单元中采用光纤传感器，控制单元根据检测单元的检测信号控制分拣单元将碎片分拣出来。利用光纤传感器检测出硅片中的碎片，并通过控制分拣单元将碎片分拣出来，这样的方法可以将在线传送的硅片中的绝大多数的碎片分拣出来，结构简单、成本低，效果显著，为后面的精检打好基础，以达到高效、快捷地分拣碎片。
申请人：张家港市超声电气有限公司
地址：215618 江苏省苏州市张家港市金港大道1001号
国籍：CN
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容