一种波像差实时测量装置和方法[发明专利]

来源：华佗健康网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种波像差实时测量装置和方法专利类型：发明专利发明人：陆海亮

申请号：CN200910199108.7申请日：20091120公开号：CN102073217A公开日：20110525

摘要：一种波像差实时测量装置，具有：光源；分光镜，将光源发出的光分为第一光束和第二光束；照明系统，接收由分光镜发出的第一光束；物面小孔，接收由照明系统发出的光形成探测光源；物镜系统，用于对小孔进行成像；剪切光栅，位于物镜系统的像面，对小孔发出的探测光进行衍射；二维阵列光敏元件，其探测面上接收由剪切光栅生成的剪切干涉条纹，探测面与物镜光瞳面共轭；能量传感器，接收由分光镜发出的第二光束；同步控制与比较部件，通过信号线与光源、能量传感器和二维阵列光敏元件相连。在测量时通过同步控制与比较部件控制能量传感器和二维阵列光敏元件在同一时间间隔内进行同步的光能积分，并利用能量传感器的测量结果对二维阵列光敏元件的测量结果进行校准。

申请人：上海微电子装备有限公司

地址：201203 上海市张江高科技园区张东路1525号

国籍：CN

代理机构：北京连和连知识产权代理有限公司

代理人：王光辉

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