真空炉安全操作规程

编制： 审核： 批准： 存档部门：设备动力部 1 开炉前的准备

1.1 将需要淬火的工件进行酸洗，清洗和干燥处理，确保工件和料筐表面无污物和水份。 1.2 检查水、电、气是否畅通，水压、超温、过流等报警装置及联锁保护应完好。 1.3 检查炉门的绝缘电阻应大于22K?，炉门密封完好。

1.4 调整好气冷压强：将电接真空压力表的上限调至工艺要求的范围． 2 开机真空

2.1 启动机械泵，打开旁路阀，观察罗茨泵轴不转后，再启动罗茨泵，开主路阀。

2.2 当真空度≥10MPa后，启动扩散泵，停罗茨泵。1小时后关闭旁路阀，开高真空阀，对系统抽高真空。 3 运行

3.1 当真空度≥6.7X10-2Pas通电加热，操作FPZl型工业PlO信号控制器，对系统进行升温。 3.2 当工艺曲线达最后一步还剩2分钟时，关掉真空计电源，关高真空阀、停扩散泵（如生产工艺要求连续运行时，则不必关扩散泵）加热时间到后，将加热按钮复位。 4 淬火

4.1 关掉控制柜面板上全部开关后，将转换手柄旋置\"自动\"位置。 此时应注意检查风机的工作状况。

4.2 待到炉温下降到100℃以下时，将转换手柄旋置\"0\"位，这时风机停止工作。再将转换手柄旋置\"手动\"位置，按下放气按钮进行放气。 5 取料、停机

5.1 炉体上压力表指针确实指向\"0\"时，方可打开炉门，取出工件．

5.2 工件取出后，将放气阀关上，把转换手柄置于\"0\"位。将炉门关上，关好主路阀，打开旁路阀使炉内抽真空。当压力表指向-0.1位置后，关闭旁路阀，打开主路阀，用扩散泵抽空1小时，即可停机。