一种氧化锌导电薄膜的制备方法[发明专利]
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专利名称：一种氧化锌导电薄膜的制备方法专利类型：发明专利发明人：刘星生,董丽君申请号：CN201910142893.6申请日：20190226公开号：CN109930121A公开日：20190625
摘要：本发明属于光电材料技术领域，尤其涉及一种氧化锌导电薄膜的制备方法。本发明将水热合成法和磁控溅射法相结合,充分发挥两种方法的优点制备氧化锌导电薄膜，得到的氧化锌导电薄膜的透光率可达到88％以上，电阻率在1.5×10Ω·cm以下，而目前的大部分氧化锌导电薄膜的透光率在85％以下，电阻率在5×10Ω·cm以上，本发明方法制备的氧化锌导电薄膜仅含锌、铝等绿色材料，具有环境友好，来源丰富等优点，能够满足绿色可持续发展要求，特别适合现代农业绿色发展要求和建设光伏温室的需求。
申请人：宜春学院
地址：336000 江西省宜春市袁州区学府路576号
国籍：CN
代理机构：北京高沃律师事务所
代理人：马小星
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