专利名称：单晶生长炉内腔清洁设备专利类型：发明专利发明人：王跃刚,范凤仙申请号：CN201210136908.6申请日：20120507公开号：CN1021877A公开日：20120822
摘要：本发明公开了一种单晶生长炉内腔清洁设备。它包括基础板、升降组件、旋转组件、水喷洗组件，升降组件装在基础板上，旋转组件装在升降组件的升降支架上，水喷洗组件装在旋转组件的套筒轴上。它的主要特点是结构紧凑，运动灵活自如，臂杆能曲能伸，能上能下，360°圆周作业，用力均衡，擦拭均匀，在高压水射流从顶部五面喷射的配合下，清洁效果极佳。本发明设计简单，容易实现，也可以广泛应用于其它有清洁要求的设备及环境中。
申请人：浙江浙大圆正机电有限公司
地址：310053 浙江省杭州市滨江区东冠路611号金盛工业园2幢4单元
国籍：CN
代理机构：杭州求是专利事务所有限公司
代理人：张法高
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