专利名称:晶体生长炉具有全行程动平衡的提拉头部件专利类型:实用新型专利发明人:李润源,付一凡申请号:CN200820182585.3申请日:20081230公开号:CN201321507Y公开日:20091007
摘要:一种晶体生长炉具有全行程动平衡的提拉头部件,可实现拉晶全行程过程中卷轮处于各行程位置时,部件均处于良好的动平衡状态,不再出现由于动平衡破坏引起振动而带来的对籽晶轴的扰动。以提拉头部件旋转中心为基,在部件卷轮对应方向设置平衡轴,此平衡轴与卷轮联动,联动方向相反。部件旋转时,卷轮质量引起的离心力与平衡轴质量引起的离心力大小相等,方向相反而抵消,全行程均处于不变的动平衡状态。
申请人:北京京仪世纪自动化设备有限公司
地址:100079 北京市丰台区永外宋家庄苇子坑2号
国籍:CN
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