单晶炉副室清扫工装[实用新型专利]

来源：华佗健康网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：单晶炉副室清扫工装专利类型：实用新型专利发明人：王忠保

申请号：CN202021847250.6申请日：20200828公开号：CN213033205U公开日：20210423

摘要：一种单晶炉副室清扫工装,包括可调节伸缩部件、支撑连接部件、擦拭部件，支撑连接部件固定设在可调节伸缩部件的顶部，支撑连接部件包括连接环、支撑杆、固定环，连接环、固定环同心设置，连接环套装在可调节伸缩部件的顶部，并与可调节伸缩部件的顶部固定连接，支撑杆的一端与连接环的外壁固定连接，支撑杆的另一端与固定环的内壁固定连接，擦拭部件固定设置在支撑连接部件的固定环上；本实用新型在使用时，针对不同尺寸炉型，可以通过对擦拭部件部件的尺寸进行调节，使其能够适应不同单晶炉副室的尺寸，从而可以对单晶炉副室内壁进行擦拭清洁，通过设置可调节伸缩部件，可通过调节长度来擦拭不同高度的副室，不仅重量减轻，也方便使用。

申请人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

地址：750021 宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号

国籍：CN

代理机构：宁夏合天律师事务所

代理人：曹广涛

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