气体管路泄露及压力波动的检测装置及检测方法[发明专利]
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专利名称：气体管路泄露及压力波动的检测装置及检测方法专利类型：发明专利发明人：杨卫枫,吴钧敏申请号：CN201511026551.6申请日：20151231公开号：CN105605431A公开日：20160525
摘要：本发明公开了一种气体管路泄露及压力波动的检测装置，包含：一导气管，且导气管上安装有阀门组；一螺旋弹簧管，其尾端由一卡件固定，螺旋弹簧管的尾端与导气管连接；弹簧管的首端为自由端，进入弹簧管内气体的压力及流量的变化能使自由端自由摆动；一转轴，该转轴固定于一转轴架上，转轴通过连接件连接弹簧管的首端；记录装置，该记录装置通过一摆动臂安装在转轴上，当转轴转动时，带动摆动臂摆动，使记录装置形成运动；机械传动装置，由多个齿轮构成齿轮组驱动一圆盘转动，圆盘上放置带刻度的圆形记录纸；所述记录装置通过摆动臂悬浮于圆形记录纸的上方，在记录纸上形成画线。本发明还公开了所述气体管路泄露及压力波动的检测装置的检测方法。
申请人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
国籍：CN
代理机构：上海浦一知识产权代理有限公司
代理人：丁纪铁
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