一种单晶炉[实用新型专利]
来源：华佗健康网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种单晶炉专利类型：实用新型专利
发明人：陈宏彬,张浩强,岳瑞存,张鹏申请号：CN201520397561.X申请日：20150610公开号：CN204727981U公开日：20151028
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉，包括单晶炉主体和位于单晶炉主体上方的圆筒形副室，在圆筒形副室的底部外侧焊接圆环形凸台；在圆环形凸台上设有竖向转轴，还包括单晶硅棒托盘，单晶硅棒托盘包括与圆环形凸台的上台面相适配的圆弧形托板，圆弧形托板端部通过竖向转轴与圆环形凸台铰链，在圆弧形托板的下方设有与其同轴心的圆环形托盘，圆环形托盘的环形面与单晶硅棒的截面相适配，圆弧形托板通过与其外端相连接的连接板与圆环形托盘外端连接。本实用新型具有结构简单、操作安全等特点。本实用新型可以在保障生产安全的情况下，在一定程度上提高生产效率，降低生产成本。
申请人：河北宁晋松宫半导体有限公司
地址：055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街279号
国籍：CN
代理机构：河北东尚律师事务所
代理人：王文庆
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