蒸镀掩模的制造方法、用于制作蒸镀掩模的金属板及其制造方法[发明专利]
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专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：蒸镀掩模的制造方法、用于制作蒸镀掩模的金属板
及其制造方法
专利类型：发明专利
发明人：池永知加雄,中山浩明,池田和成,初田千秋,大内诗子申请号：CN201680001423.2申请日：20160205公开号：CN106460150A公开日：20170222
摘要：本发明提供一种金属板，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
申请人：大日本印刷株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
代理人：庞东成
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