专利名称：一种调焦调平测量装置专利类型：发明专利发明人：张冲,陈飞彪,李志丹申请号：CN201110098246.3申请日：20110419公开号：CN102749808A公开日：20121024
摘要：一种调焦调平测量装置，包括：照明单元，具有宽带光源和照明镜组；投影单元，具有标记板、投影前透镜组、投影后透镜组和分束机构；接受成像单元，具有耦合机构、接受前透镜组和接受后透镜组；以及位置探测器单元，从所述照明单元发出的光均匀照明至所述标记板上，所述标记板上的标记经所述投影单元后，在被测目标的被测表面上形成多个标记，这些标记由被测表面反射后经所述接受成像单元成像于所述位置探测器上。
申请人：上海微电子装备有限公司
地址：201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号
国籍：CN
代理机构：北京连和连知识产权代理有限公司
代理人：王光辉
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容
Copyright © 2019- huatuo0.com 版权所有 湘ICP备2023021991号-1
违法及侵权请联系：TEL:199 1889 7713 E-MAIL:2724546146@qq.com
本站由北京市万商天勤律师事务所王兴未律师提供法律服务