专利名称：抗反射涂料组合物专利类型：发明专利
发明人：D·阿布达拉,R·R·达米尔申请号：CN200780035975.6申请日：20070924公开号：CN101529335A公开日：20090909
摘要：本发明涉及用于光致抗蚀剂的旋涂施加型抗反射涂料组合物，其包含聚合物、交联化合物和热致酸生成剂，其中该聚合物包含至少一种能将抗反射涂料组合物在光致抗蚀剂成像用的曝光辐射下的折光指数提高至等于或大于1.8的值的官能结构部分和能吸收光致抗蚀剂成像用的曝光辐射的官能结构部分。本发明还涉及本发明的抗反射涂层的成像方法。
申请人：AZ电子材料美国公司
地址：美国新泽西
国籍：US
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：刘明海
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