晶圆在线检测方法及系统

来源：华佗健康网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200910049991.1 （22）申请日 2009.04.24

（71）申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址 201203 上海市张江路18号

（10）申请公布号 CN101872714A

（43）申请公布日 2010.10.27

（72）发明人杨健;孙强;陈思安;吕秋玲

（74）专利代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人屈蘅

（51）Int.CI

H01L21/00; H01L21/66;

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

晶圆在线检测方法及系统

（57）摘要

本发明提供了晶圆在线检测方法及系统，

以避免现有检测方案可能存在的耽误产品时间、降低检测效果及无法充分利用检测站点检测能力的问题。该方法包括步骤：获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自的数量；根据获得的所述类型及数量，确定单位时间内进入检测站点检测的各类晶圆产品数目；以及检测站点检

测进入自身的各类晶圆产品。

法律状态

法律状态公告日

2010-10-27 2010-12-08 2012-06-20

公开

实质审查的生效授权

法律状态信息

公开

法律状态

实质审查的生效授权

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说明书

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