处理四氯化硅氢化副产物的方法[发明专利]

来源：华佗健康网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：处理四氯化硅氢化副产物的方法专利类型：发明专利

发明人：张升学,严大洲,肖荣晖,毋克力,汤传斌,杨永亮,万烨申请号：CN201210119526.2申请日：20120420公开号：CN102659115A公开日：20120912

摘要：本发明提供了用于处理四氯化硅氢化副产物的方法。该方法包括以下步骤：将四氯化硅氢化副产物供给到气固分离装置，以便进行气固分离以得到含有三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氢气的第一气体混合物和固体颗粒；以及将所述第一气体混合物与第二气体混合物在热交换装置中进行热交换，其中，所述第二气体混合物为四氯化硅和氢气的混合物。根据本发明实施例的用于处理四氯化硅氢化副产物的方法能耗低，成本低，热量回收率高。并且可以避免固体颗粒堵塞管道，提高固体物料利用率，从而保证管道和设备的正常运行。

申请人：中国恩菲工程技术有限公司,洛阳中硅高科技有限公司

地址：100038 北京市海淀区复兴路12号

国籍：CN

代理机构：北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：宋合成

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