一种角度补偿式激光外差干涉位移测量装置[实用新型专利]

来源：华佗健康网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种角度补偿式激光外差干涉位移测量装置专利类型：实用新型专利发明人：张恩政,陈本永申请号：CN201720823469.4申请日：20170707公开号：CN207180607U公开日：20180403

摘要：本实用新型公开了一种角度补偿式激光外差干涉位移测量装置。包括激光外差干涉位移测量光路部分、激光光斑检测转角测量光路部分和角锥棱镜，并采用镀有半透半反膜的角锥棱镜作为位移和转角测量的测量镜，由激光外差干涉光路产生的干涉信号经光电探测器探测，激光光斑检测转角测量光路产生的激光光斑位置信号。本实用新型能够解决了传统激光干涉位移测量技术中角锥棱镜存在转角误差影响位移测量精度的技术问题，实现了高精度的位移测量，并可实现对被测对象偏摆角、俯仰角和线性位移三个自由度的同时检测。

申请人：浙江理工大学

地址：310018 浙江省杭州市江干经济开发区2号大街928号

国籍：CN

代理机构：杭州求是专利事务所有限公司

代理人：林超

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文