差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置[发明专利]

来源：华佗健康网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置专利类型：发明专利

发明人：严利平,陈本永,田秋红,孙政荣,周砚江申请号：CN201310015103.0申请日：20130115公开号：CN103075969A公开日：20130501

摘要：本发明公开了一种差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置。双频激光器输出波长分别为和的正交线偏振光，射向由两个分光镜、两个偏振分光镜、两个角锥棱镜和压电陶瓷驱动器构成的差动式激光干涉仪，分别形成各自的干涉信号，由三个光电探测器接收。测量前，通过压电陶瓷驱动器调制参考角锥棱镜在1μm行程内往返运动，测得和的干涉信号的相位差为；然后参考角锥棱镜静止，测量角锥棱镜移动一被测位移，的整数干涉条纹变化数由双向计数模块测得，再次调制参考角锥棱镜测得此时和的干涉信号的相位差为，由得到的小数干涉条纹变化数；计算机根据测得的干涉条纹的整数和小数，计算得出被测位移。本发明适用于纳米级精度的位移测量技术领域。

申请人：浙江理工大学

地址：310018 浙江省杭州市江干经济开发区白杨街道2号大街5号

国籍：CN

代理机构：杭州求是专利事务所有限公司

代理人：林怀禹

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文