具有多腔体的气相蚀刻设备[发明专利]
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专利名称：具有多腔体的气相蚀刻设备专利类型：发明专利发明人：陈亚理
申请号：CN201210295616.7申请日：20120817公开号：CN103594314A公开日：20140219
摘要：本发明涉及一种具有多腔体的气相蚀刻设备，包含有工作腔体以利用制程气体蚀刻物件对象，并产生残余气体；并且除气腔体包覆工作腔体，防护腔体再包覆除气腔体；工作腔体内具有腔体压力，除气腔体内具有除气压力，防护腔体内具有气体压力，且腔体压力大于除气压力，以排出残余气体，气体压力大于除气压力，藉此挤压除气压力，以确保残余气体不外泄至防护腔体，进而可防止残余气体外泄至大气中。依据本发明，可达到通过不同化学品气相特性搭载本发明的气相蚀刻设备进行蚀刻动作，以达到具有低成本、高蚀刻率，同时兼顾绝佳安全性的特点。
申请人：晶呈科技股份有限公司
地址：中国台湾新竹县
国籍：CN
代理机构：北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
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