一种单晶硅炉内导流筒
来源:华佗健康网
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(21)申请号 CN201721341220.6 (22)申请日 2017.10.18
(71)申请人 青海日晶光电有限公司
地址 817099 青海省海西蒙古族藏族自治州德令哈市长江路延伸段以东南山路1号
(10)申请公布号 CN207944171U
(43)申请公布日 2018.10.09
(72)发明人 路建华;陈钦强
(74)专利代理机构 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)
代理人 张宇
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
一种单晶硅炉内导流筒
(57)摘要
本实用新型公开了一种单晶硅炉内导流
筒,包括外筒和内筒,外筒的内侧设有反射层和保温层,保温层的一侧设有内筒,保温层和内筒之间设有空腔,内筒的顶部固定连接有分流导流筒,分流导流筒由喇叭状的排气导流筒段、水平导流环和竖直段辅助分流筒组成,外筒的顶部通过螺栓和螺母与水平导流环固定连接,外筒的底部设有出气口。本实用新型单晶硅炉内导流筒,通过保温层内部设有内筒,保温层和内筒间为空
腔,且空腔厚度不小于5mm,减少保温层热量对内筒的热传导,使保温效果大打折扣,将气流分割成内外两股,从而减少气流带走加热器的热量,同时借助外筒上的保温层和反射层,屏蔽热流并反射加热器的热辐射,从而减少热量的散失。
法律状态
法律状态公告日
2018-10-09
法律状态信息
授权
法律状态
授权
权利要求说明书
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说明书
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