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一种单晶硅炉内导流筒

来源:华佗健康网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)实用新型专利

(21)申请号 CN201721341220.6 (22)申请日 2017.10.18

(71)申请人 青海日晶光电有限公司

地址 817099 青海省海西蒙古族藏族自治州德令哈市长江路延伸段以东南山路1号

(10)申请公布号 CN207944171U

(43)申请公布日 2018.10.09

(72)发明人 路建华;陈钦强

(74)专利代理机构 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)

代理人 张宇

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

一种单晶硅炉内导流筒

(57)摘要

本实用新型公开了一种单晶硅炉内导流

筒,包括外筒和内筒,外筒的内侧设有反射层和保温层,保温层的一侧设有内筒,保温层和内筒之间设有空腔,内筒的顶部固定连接有分流导流筒,分流导流筒由喇叭状的排气导流筒段、水平导流环和竖直段辅助分流筒组成,外筒的顶部通过螺栓和螺母与水平导流环固定连接,外筒的底部设有出气口。本实用新型单晶硅炉内导流筒,通过保温层内部设有内筒,保温层和内筒间为空

腔,且空腔厚度不小于5mm,减少保温层热量对内筒的热传导,使保温效果大打折扣,将气流分割成内外两股,从而减少气流带走加热器的热量,同时借助外筒上的保温层和反射层,屏蔽热流并反射加热器的热辐射,从而减少热量的散失。

法律状态

法律状态公告日

2018-10-09

法律状态信息

授权

法律状态

授权

权利要求说明书

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说明书

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