一种单晶炉高温除氧装置
来源：华佗健康网
（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201721529379.0 （22）申请日 2017.11.16
（71）申请人 四川高铭科技有限公司
地址 625000 四川省雅安市雅安市工业园区
（10）申请公布号 CN207685403U
（43）申请公布日 2018.08.03
（72）发明人 王礼彬 （74）专利代理机构
代理人
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种单晶炉高温除氧装置
（57）摘要
本实用新型提供一种单晶炉高温除氧装
置，包含炉体、保温层、加热器、石墨坩埚、导流筒和排气孔，所述炉体内部设有所述保温层，所述保温层设置有所述加热器，所述加热器内部设置有所述石墨坩埚，所述石墨坩埚上方设置有所述导流筒，所述保温层底部设置有所述排气孔，所述排气孔穿过所述炉体，其特征在于：所述石墨坩埚和所述导流筒之间设置有氢气通入装置，所述氢气通入装置由母管、进口管、调节
阀、支管和喷嘴组成，所述母管为环状，所述母管上对称设置有两根所述进口管，两根所述进口管上设置有所述调节阀，所述母管上倾斜设置有数根所述支管，所述支管出口端设置有所述喷嘴。本装置可大大地降低单晶棒的氧含量，提高单晶硅的品质。
法律状态
法律状态公告日2018-08-03
法律状态信息
授权
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权利要求说明书
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说明书
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