一种疏水疏油表面微结构及其制备方法[发明专利]
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专利名称：一种疏水疏油表面微结构及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：吴天准,袁丽芳,祝渊,桂许春,项荣,汤子康,铃木雄二申请号：CN201110354829.8申请日：20111110公开号：CN102427083A公开日：20120425
摘要：本发明公开了一种疏水疏油表面微结构，包括基底与刻蚀在基底上的T型微纳米结构，所述T型微纳米结构包括竖部与横部，所述横部设在竖部顶端。该疏水疏油表面的制作工艺包括基板清洗、掩模图形转移、XeF气相刻蚀工艺或DRIE刻蚀工艺、化学气相沉积工艺或全氟化硅烷单分子自组装，即可得到机械稳定性高、工艺重复性好与且几何结构可控的疏水疏油表面微结构。
申请人：中山大学
地址：510275 广东省广州市海珠区新港西路135号
国籍：CN
代理机构：广州粤高专利商标代理有限公司
代理人：陈卫
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