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包括结型场效应晶体管的半导体器件及其制造方法[发明专利]

来源:华佗健康网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:包括结型场效应晶体管的半导体器件及其制造方法专利类型:发明专利

发明人:马荣耀,李铁生,张磊,傅达平申请号:CN201210422691.5申请日:20121030公开号:CN102916049A公开日:20130206

摘要:公开了一种包括结型场效应晶体管的半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括结型场效应晶体管,所述结型场效应晶体管包括:半导体衬底,具有第一掺杂类型并作为结型场效应晶体管的漏极区;外延层,位于半导体衬底上,具有第一掺杂类型;体区,位于外延层中,具有第二掺杂类型,第二掺杂类型与第一掺杂类型是相反的掺杂类型;源极区,位于外延层中,具有第一掺杂类型;以及栅极区,位于体区中,具有第二掺杂类型,其中,所述结型场效应晶体管还包括屏蔽层,屏蔽层具有第二掺杂类型,位于外延层的内部,并且位于源极区和漏极区之间的导电路径中。由于采用屏蔽层,在结型场效应晶体管中产生新的夹断区,从而可以减小夹断电压。

申请人:成都芯源系统有限公司

地址:611731 四川省成都市高新西区出口加工区(西区)科新路8号

国籍:CN

代理机构:中科专利商标代理有限责任公司

代理人:蔡纯

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