一种三维检测方法及检测装置[发明专利]

来源：华佗健康网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种三维检测方法及检测装置专利类型：发明专利发明人：张鹏黎,王帆

申请号：CN2018101124.6申请日：20180205公开号：CN110118533A公开日：20190813

摘要：本发明公开了一种三维检测方法及检测装置。该方法包括：光源模块发出波长可调的第一光束；将部分第一光束分别在透明膜层的上下表面发生反射；探测模块接收被反射的第一光束，两光束发生干涉并产生第一干涉条纹；根据第一干涉条纹确定透明膜层的厚度；光源模块发出第二光束，并发射到分束镜上，第二光束被分束镜分为第三、第四光束；将第三光束发射到待测器件表面并反射后发射到探测模块；将第四光束发射到参考单元并转换为参考光束发射到探测模块；探测模块接收被反射的第三光束和参考光束，并发生干涉产生第二干涉条纹；根据第二干涉条纹和透明膜层的厚度进行待测器件表面三维检测。本发明可实现待测器件表面精确三维测量。

申请人：上海微电子装备(集团)股份有限公司

地址：201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

国籍：CN

代理机构：北京品源专利代理有限公司

代理人：孟金喆

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文