一种二氧化钛薄膜的制备方法[发明专利]
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专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种二氧化钛薄膜的制备方法专利类型：发明专利发明人：高爽
申请号：CN201811361581.6申请日：20181115公开号：CN109112502A公开日：20190101
摘要：本发明公开了一种二氧化钛薄膜的制备方法，具体步骤如下：进行沉积前吹扫清洗管道和沉积室；采用鼓泡法通过载气将四氯化钛带入沉积室，并向沉积室通入氢气和二氧化碳；关闭载气和二氧化碳，保持氢气流量，待沉积室内无反应进行，关闭氢气；在惰性气气氛保护下，待沉积室温度下降至300℃以下时，取出制好的二氧化钛薄膜。在高温条件（700~900℃）下，使用二氧化碳和氢气反应制备出少量水，与四氯化钛反应生成性能优良的二氧化钛薄膜，这种二氧化钛薄膜均匀致密且具有优良级的强度，同时该制备方法的成膜厚度可控、工艺简单，可实现在复杂结构耐高温工件直接涂覆形成均匀涂层。
申请人：合肥国轩高科动力能源有限公司
地址：230011 安徽省合肥市新站区岱河路599号
国籍：CN
代理机构：合肥天明专利事务所(普通合伙)
代理人：汪贵艳
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