一种精密位移传感器及其测量方法[发明专利]

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专利名称：一种精密位移传感器及其测量方法专利类型：发明专利发明人：张白,孔德超,杨海涛申请号：CN201910018295.8申请日：20190109公开号：CN109696129A公开日：20190430

摘要：本发明涉及一种精密位移传感器及其测量方法，其中位移传感器包括至少两个第一反射镜组，每个第一反射镜组包括反射镜一与反射镜二，所述至少两个第一反射镜组沿移动方向依次分布；激光源，用于发射出激光束；所述反射镜一，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射镜二，或用于接收反射镜二反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器二；所述反射镜二，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射镜一，或用于接收反射镜一反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器一。该传感器结构简单，测量精度高，便于批量生产。

申请人：北方民族大学

地址：750021 宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北路204号

国籍：CN

代理机构：北京市领专知识产权代理有限公司

代理人：张玲

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