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一种表面突起的波导三维模斑转换器及其制作方法[发明专利]

来源:华佗健康网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种表面突起的波导三维模斑转换器及其制作方法专利类型:发明专利

发明人:叶彤,储涛,付云飞,吴维轲,李锟,王莹,付志明申请号:CN2016110770.3申请日:20161130公开号:CN1065561A公开日:20170405

摘要:本发明公开了一种波导三维模斑转换器,包含平板形状的衬底、设置在所述衬底上的下包层以及设置在所述下包层上传输、转换光模斑的芯层,其特征在于:所述芯层包括沿光传播方向上宽度变化的楔形;所述楔形表面排布多条条状突起,条状突起与光传播方向之间的夹角在‑45°~45°之间;以及所述条状突起的高度和楔形宽度按照预定规律变化。本发明公开了一种波导三维模斑转换器的制备方法。

申请人:中国科学院半导体研究所,中兴通讯股份有限公司

地址:100083 北京市海淀区清华东路甲35号

国籍:CN

代理机构:中科专利商标代理有限责任公司

代理人:吕雁葭

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