谐振器[发明专利]
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专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：谐振器专利类型：发明专利
发明人：窦韶旭,吕丽英,杨帅,吴一雷,韩琦,吴珂,王超申请号：CN202010666350.7申请日：20200710公开号：CN111884620A公开日：20201103
摘要：本发明提供一种谐振器，包括基底、复合膜和纵向声波反射器；复合膜包括沿第一方向依次设置的第一电极、压电功能膜、第二电极和调频器，第一电极设置于基底和纵向声波反射器上方；调频器包括调频主体部和凸环，凸环的声阻抗与调频主体部的声阻抗相异；凸环内侧面沿第一方向向第二电极的正投影所包围的区域为谐振区，谐振器位于谐振区外的区域为非谐振区；第一、第二电极和压电功能膜均完全覆盖谐振区；压电功能膜包括纵向压电膜和纵向非压电膜；谐振器在谐振区内和非谐振区内的声阻抗相异，第一电极、压电功能膜、第二电极和调频主体部位于谐振区内的部分的声阻抗均是大致不变的。与相关技术相比，本发明的谐振器能量损失小且Q值增大。
申请人：瑞声科技(南京)有限公司
地址：210093 江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层
国籍：CN
代理机构：深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：刘伟
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