防静电检测规范
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目录
1、目的： ........................................................................................... 错误!未定义书签。 2、适用范围： .................................................................................... 错误!未定义书签。 3、定义 ............................................................................................... 错误!未定义书签。 4、职责 ............................................................................................... 错误!未定义书签。 5、程序 ........................................................................................................................... 2 6、相关文件和记录 ....................................................................................................... 16 7、附录 ......................................................................................................................... 16
5、程序
5.1测试方法： 5.1.1测试环境：
环境温度23±5℃，相对湿度40%～70%。 5.1.2测试仪器使用方法 5.1.2.1静电场测试仪（TREK520）
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静电场测试仪是感应式的，该仪器表面有2个按键：“POWER”、“RANGE/ZERO”、“HOLD”,
按“POWER” 键开机/关机。该仪器有两个量程：0~2KV、0~20KV,可通过按“RANGE/ZERO”键进行切换。当显示3位小数时，量程范围为0~2KV；当显示2位小数时，量程范围为0～20KV。
每次测试时都应进行读数清零工作，方法为：将sensor对准一个已知的电压为0V的导体上，按“RANGE/ZERO”键至少3秒钟。
为保证测试值的准确性，测试时人体必须戴静电环或穿防静电鞋。测试前，先将待测物放置在绝缘的物体上（如干燥的硬纸板），手持干燥并干净的棉布以每分钟120次的速度，施加适当的压力（2～4千克力），单向摩擦待测物表面20次，然后用仪器测量电压（senor距离被测物表面的距离为2.54CM及两个红灯重合在一起），将显示的读数乘以1000即得实际的电压值，例如读数为“.018”，则实际电压为18V。
5.1.2.2 表面电阻测试仪（ACL-385）
ACL-385为简易表面电阻测试仪，该仪器两个测试电极间距根据标准不变，测试时将被测物放于
绝缘的平面上，表面电阻测试仪平置在材料表面上，手指施加适当压力（2～4KG）于测试按钮上，使测试电极与材料表面接触良好，指示灯发亮档即为读数。如果被测材料为软性材料，可施加4～6kg的压力进行测试。
5.1.2.3 接地电阻测试仪（EMI-20780）
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EMI-20780 可以测试点对点电阻(RTT), 接地电阻(RTG)、体积电阻,和表面电阻率, 配套两点测试电极可测量微小物体表面电阻.测试范围为: 1x 103Ω - 1012Ω；测试电压为: 10V或100V+/-5%；测试精度为: +/-10%;测试时间为 15秒；测试时：把2条连接线分别插入测试表上端的“A”插口, 注意白色连接线和黑色连接线的插头不同, 不要插错. 然后连接线另一端分别插入点对点重锤电极；按下“D”测试按键15秒, 这时LCD屏幕按顺序显示如下:
华氏温度 摄氏温度 相对湿度 电阻值
所采用的测试电压
电阻测试结果由“B”显示屏和“C”冥数LED 指示灯共同显示, 例如电阻值为175，000，000Ω, 显示如下:
1.75显示在“B”显示屏上, 同时“C” LED指示灯的8会亮,表示测试结果为: 1.75 x
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108Ω。如果LCD显示屏显示“1____”, 说明超过该仪器测试范围。
测试电压为10V或100V, 按下“F”键, 采用10V电压测试, 如果不按下“F”键, 仪器会根据不同测试材料自动选择测试电压. 阻值在105Ω以下时采用10V测试电压, 阻值在106Ω以上时采用100V测试电压
5.1.2.4人体综合电阻测试（腕带测试、鞋测试）
测试步骤：
1. 员工进入车间前应首先确认静电手腕佩戴正确，静电鞋鞋底干净，穿戴正
确。左右两脚分别踏上静电测试仪的左右两个金属脚踏板，然后将防静电手腕插入静电测试仪面板的手环插口。
2. 扫描工卡后，电脑会显示你的身份资料，同时仪器的LCD面板提示“请您
按下测试键”。手指按下测试键，（确保手指与按钮金属键的完全接触）开始测试，3 秒后仪器将测试完毕。
3. 如果受测对象合格，仪器“嘟”长响一声，同时仪器的LCD面板显示“通
过”，如果测试不合格，仪器“嘟嘟嘟嘟…”短响8声，同时仪器的LCD 面板显示“不通过”。不通过时可连续测试4次，若还是不合格，员工立即到IPQA处更换。
4. IPQA应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。
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5.1.2.5接地桩电阻测试仪（ZC29B型号）
1.沿被测接地极E’使电位探棒P’和电流探棒C’依直线彼此相距20米，且电位探棒P’系在E’和C’之间。
2.E端钮接5m导线，P端钮接20m导线，C端钮接40m导线。
3.将仪表放置水平后检查检流计是否指零，否则可将零位调正器调节零位。 4.将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把，同时旋动电位器刻度盘，使检流计指针指“0”。
5.当检流计的指针接*衡时，加快发电机摇柄转速，使其达到每分钟150转。再转支电位器刻度盘，使检流计平衡，此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测接地电阻数值。
6.当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率，重新调整刻度盘以得正确读数。
7.当测量小于1欧的接地电阻时，应将2个E端的联结片打开，分别用导线联接到
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被测接地体上，以消除测量时联接导线电阻的附加误差，操作步骤同上。 8.当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅一些，当检流计灵敏度过低时，可沿探棒注水使其湿润。
5.1.2.6 离子风机测试仪（3M-718 /3M-718A）
1、 打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电产生仪“+”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应大于“+1000V”。
2、 在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
3、 打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应小于“-1000V”。
4、 离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
5、 在检测表中记录显示值，注明检测日期，调节后的值。 注意：要求平衡电压为-40≤平衡电压≤40V
5.1.2.7 手腕监视器电容测试仪（SAML1800）：
测试时，开关旋转至“1801 FALL”档， SALM1801S-I的LED变成红色，蜂鸣器发
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出报警声响；旋转开关至“1801 PASS”档，SALM1801S-I的LED变成绿灯，蜂鸣器停止发出报警声响。此为合格。
5.2 测试项目
5.2.1静电接地极电阻测试
每半年使用ZC29B进行一次测试，要求静电接地极对地电阻小于1Ω,将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.2设备、仪器接地电阻测试
每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次（新建工位或工位调整后
要立即测试）测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
1. 设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。测试频率：每月。
2. 电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。测试频率：每天。
5.2.3 静电接地线接地电阻：
每半年由厂务或指定人员对静电接地线的接地电阻进行检测。要求每条线都要测。测试方
法：在每条静电接地线上任意找一个点，将万用表的一端连在这个点上，另一端
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插在电源地线孔里。要求电阻值小于10Ω。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.4防静电工服
PE工程师或指定人员，每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试，要求表面电阻
1×105Ω≤RS< 1×109Ω （上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚对裤脚、点对点测试），“每次全检，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。如检测到不合格的情况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章，并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。IPQA监督有无不合格静电服流入产线。
5.2.5防静电工作台
PE工程师或指定人员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻在
1×105~1×109欧姆和接地电阻在1×106~1×109欧姆。每块工作台面测试3个点，将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.6地板
由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次，要求地板的表面电阻在
1*105~1*109Ω之间。每100平米地面测5个点（对于面积小于100平方米的独立区域如：IQC、RD实验室、来料仓，每个区域要测5个点）。测试时两个电极距离为0.6米～1米，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
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同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次，接地电阻在1*105-1*109Ω之间。测试方法：将EMI-20780的一个电极放在地板上，另一端插入电源地线插孔里。每100平米测试1个点。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.7物流器具（如：周转箱、周转车、货架）
5.2.7.1由ESD专员负责每半年使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次，要求摩擦电
压小于100V，周转箱表面电阻：1×103Ω- 1×109Ω，每次每种器具抽检，每1条线抽检10Pcs，如果有1Pcs不合格则全检。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.7.2 由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试一次，要求周转车，货
架表面电阻小于1×109Ω，接地电阻在1×103Ω- 1×109Ω之间。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.8腕带、工鞋性能检测
操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试，测试结果由电脑自动保存，产线专门
人员进行存档管理；在车间办公的职员，每日上班进入车间前要进行工鞋测试，对于有可能接触产品的职员（如生产主管、工艺、设备、质控人员）每日上班也必须使用人体综合电阻测试仪，测试记录由电脑自动保存。如有测试不合格者需立即到IPQA处更换。测试合格后方能进入产线。
腕带系统电阻：800KΩ—10MΩ；工鞋系统电阻：100KΩ--35MΩ。
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5.2.9静电场检测
由ESD专员负责每季度使用静电场测试仪（TREK520）对车间各工位的静电场强进行一
次测试，并将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
测试要求：距工作台30CM范围内，静电值要小于+/- 100 V
5.2.10 离子风机测试
由ESD专员负责每季度使用 3M-718与3M-718A对车间的离子风机性能进行测试，测试内
容包括“平衡电压”、“消电时间”，并将结果记录在《ESD点检记录表格》中
测试要求：测试仪器距离离子风扇正前方30厘米；合格标准:1000V降到100V的消电时间
小于3秒，平衡电压绝对值小于40V。
注：CPM要分别在正、负两种充电状态下测试
5.2.11防静电工作椅子
由ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻和接地电阻都在
1×105-1×109欧姆之间，。将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.12传送带测试
由ESD专员负责每季度使用表面阻抗测试仪测试一次，要求表面电阻在1×105-1×109欧姆之间。每条传送带测试3个点，将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
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5.2.13 手腕监视器测试
由 ESD专员负责每半年使用SAML1800校正仪对手腕监视器的电容进行一次。测试不合格立即更换。
5.3 防静电包装材料的测试
5.3.1认证测试：首先要求供应商送样给PE确认，同时附上产品的相关参数说明书或产
品相关性能指标认定书，经PE验证合格后方可采购。
防静电性能测试环境要求：温度23±5℃,湿度15±5％ 测试项目 材料 表面摩擦屏蔽泄高温环境模拟测ESD标志 电阻 PE袋 吸塑盒、物料盒 汽珠袋、泡棉 有机保护屏 缓冲材料 屏蔽袋 √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ 电压 √ √ 漏电压 试 √ √ √ √
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防静电胶带 防静电防尘布 √ √ √ √ √ √ 打“√”为必测项目
高温测试：在温度为60℃，湿度为15％的干燥箱内烘烤12天或在温度为70℃，湿度为15％
的干燥箱内烘烤8天，然后放于室温存放24小时再进行表面电阻、摩擦电压测试 5.3.2 接收测试
PE部门对所有无物料代码的ESD辅料进行来料检验。不定期全检。检验要求如下： 防静电性能测试环境要求：温度23±5℃,湿度40～70％ 测试项目 材料 表面电阻 摩擦电压 屏蔽泄漏电压 高温环境ESD标志 模拟测试 PE袋 吸塑盒、物料盒 汽珠袋、泡棉 有机保护屏 √ √ 。 √ √ √ √ √ √ √ √ √
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缓冲材料 √ √ √ √ 。 防静电胶带 √ √ √ √ √ √ √ 屏蔽袋 防静电防尘布
√ 5.3.3 点检测试
由ESD小组人员每个月使用表面阻抗测试仪对各条线的防静电袋、自制容器、防静电胶、有机玻璃屏进行抽检。要求表面电阻在1×104-1×1011欧姆之间，摩擦电压小于100V。每条线测试5Pcs，若有3Pcs不合格则整条线全检并更换相应物料。以上这些物料必须有防静电标识才可投入产线使用，一经IPQA发现将没收，找替代品或者做防静电加工。
5.4 各类防静电物品、设施检测指标
测试项目 防静电工服、工帽 摩擦电压 表面电阻 1×105Ω≤RS< 1×109Ω 系统电阻 工鞋 腕带 1×105Ω≤Rs<1×109Ω 0.1×106Ω≤R<3.5×107Ω 0.8×106Ω≤R<3.5内面＜1×105Ω ×107Ω 外面＞1×107Ω —————————————————————————————————————————————————————————
防静电地板 工作台 周转箱、周转盒、托盘、料盒、防静电刷子、防静电镊子、防静电推车 0.1×106Ω≤RS< 1×109Ω 0.1×106Ω≤R< 1×109Ω 0.75×106Ω≤R< 1×109Ω 1×106Ω≤RS< 1×109Ω <100V 1×103Ω≤RS< 1×109Ω 传送带 防静电工作椅 1×106Ω≤RS< 1×109Ω 1×105Ω 防静电有机玻璃板 防静电防尘布、手套、指套 <100V 1×104Ω≤RS< 1×1011Ω <100V 1×104Ω≤RS< 1×1011Ω 注：1.屏蔽袋要加测“屏蔽泄漏电压”，要求小于100V； 2.为便于包装材料的接收检验，选择包材时可根据实际情况选择表面电阻及体电阻在1×105Ω～1×1010Ω的材料。 3.对产线自制物料盒需要经过PE认证检验后并贴上防静电标志才能使用。 4.胶带要加测剥离电压小于100V才能接收。 6、 7、附录—各类点检项目明细 点检项目 烙铁头 设备仪器 频率 每天 每月 表面电阻 —— —— 接地电阻 10Ω 10Ω 1×106Ω-- 1×109工作台面 每月 1×105Ω-- 1×109Ω Ω —— 摩擦电压 —— —— 备注 ————————————————————————————————————————————————————————— 1×105Ω-- 1×109防静电椅 每月 1×105Ω-- 1×109Ω Ω 防静电袋、胶带、自制器具、有机玻璃屏 防静电服 地板 每次月度稽核时ESD组员负责检验。条线抽检＜100V 5Pcs，3Pcs不合格则整条线全检并更换。 —— —— —— 1×104Ω-- 1×1011每月 Ω —— 季度 季度 1×105Ω-- 1×109Ω 1×105Ω-- 1×109Ω —— —— 1×103Ω-- 1×109推车/货架 季度 ＜1×109Ω Ω —— 静电场 季度 —— —— —— 静电场电压＜+/- 100 V 耗散时间＜3S，平衡电压绝对值＜±40V 厂务人员测试 离子风机 季度 —— —— —— 传送带 静电接地极 静电接地线 季度 半年 半年 1×105Ω-- 1×109Ω —— —— —— 1Ω 10Ω 1×105Ω-- 1×109—— —— —— 地板 半年 —— Ω —— 厂务人员测试 周转箱/盒 半年 1×103Ω-- 1×109Ω —— 每条线抽检10Pcs，有1个不＜100V 合格则全检并更换 ————————————————————————————————————————————————————————— 手腕监视器 半年 —— —— —— 校正仪进行校正 ————————————————————————————————————————————————————————— 因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容